Interface property evaluation software

従来技術にはない全く新しい手法です。リーク電流と電圧の関係から界面とバルクを流れる電流を支配する物性を計算するものです。得られる物性は次の通りです。
・Schottky barrier height (sbh)
・Area (A)　where electrons are emitted from the negative electrode
・ electric field strength （F0） on the surface of the insulator where electrons are emitted
・ donor concentration （ND） near the surface of the insulator where electrons are emitted
・ depletion layer width (wdep)　 of the insulator where electrons are emitted
・ Electron diffusion coefficient （De） and mobility （μ） inside the insulator excluding the depletion layer
・ potential ratio　（γ)　between　the　depletion layer and inside the insulator excluding the depletion layer
・ lattice constant ratio



　測定系は次のようにソースメータを使った簡単なものになります。

　解析事例として以下に3例示します。　
解析事例１
　解析事例1は積層セラミックスのスクリーニングでリーク電流がわずかに大きかった試料の評価結果です。物性がばらついているのが分かります。それぞれの不良原因が読み解けます。

解析事例２
　解析事例2は積層セラミックキャパシタの雰囲気温度（24，50，75、100℃の4水準）に対する物性を計算したものです。サンプル数は2個です。温度上昇に対してバルク内部の電子の移動度（μ）が増加していることが確認できます。この結果は電子のホッピング伝導は温度に依存することから理解できます。また、電子放出面積が非常に小さいことからバルクのクラックが起点となる電子放出が起こっていることが容易に推定できます。これは磁場分布を測定した結果、電極間で細い電流パスが観察できたことからも確認できました。

解析事例３
　解析事例３はパルス電圧（50 V,10 msec）を印加した後とパルス電圧印加前のの界面物性を示します。ここで言えることは大半の試料においてショットキー障壁高さsbhが低下しています。そしてドナー濃度NDも小さくなっています。一方、試料1-Viは変化が見られませんでした。

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CDCTS software

　CDCTS（Charge and DischargeCurrent Transient　Spectroscopy）は充電または放電における電荷の移動時間のピークからキャリアの特徴を推測します。測定系には上記のものに準ずる装置を用います。解析結果は下図のようなピーク時間と電荷密度の関係が得られます。ここでピークを示す固有の電荷があることを意味します。